“蘇工，喝杯咖啡吧？”
小楊端著紙杯走進(jìn)來(lái)。
“您已經(jīng)連續(xù)工作七天了，每天睡不到三個(gè)小時(shí)?！?br>“睡不著?！?br>我接過(guò)咖啡，喝了一口。
“越想越覺(jué)得不對(duì)勁。***說(shuō)是光源系統(tǒng)的問(wèn)題，但我檢查了光源系統(tǒng)，完全正常?！?br>我站起來(lái)。
“會(huì)不會(huì)根本就不是光源系統(tǒng)的問(wèn)題？”
小楊愣了。
“可**技術(shù)團(tuán)隊(duì)的結(jié)論……”
“他們也不一定對(duì)！”
我快步走回潔凈室。
“他們只是根據(jù)報(bào)錯(cuò)代碼判斷，但報(bào)錯(cuò)代碼本身就可能是誤導(dǎo)。系統(tǒng)崩潰的時(shí)候，最先跳出來(lái)的報(bào)錯(cuò)，不一定是真正的故障點(diǎn)?！?br>我重新打開(kāi)設(shè)備的主控終端，調(diào)出所有運(yùn)行日志。
這些日志記錄了機(jī)器從正常運(yùn)行到徹底癱瘓的全過(guò)程。
每一條指令，每一個(gè)參數(shù)變化，都被完整地保存了下來(lái)。
我一條一條地看。
一行一行地分析。
時(shí)間一分一秒地過(guò)。
凌晨?jī)牲c(diǎn)四十七分。
我的手停在了鍵盤(pán)上。
屏幕上有一行數(shù)據(jù)，不起眼地嵌在幾千條日志中間。
機(jī)器癱瘓前十四個(gè)小時(shí)，有一個(gè)參數(shù)發(fā)生了極其微小的變化。
工件臺(tái)的位置校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
變化幅度：零點(diǎn)零零四毫米。
正常情況下，這種級(jí)別的偏差根本不會(huì)造成任何影響。
但這臺(tái)光刻機(jī)的精度太高了。
零點(diǎn)零零四毫米的誤差，對(duì)浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，足以讓整條光路全部失準(zhǔn)。
光源報(bào)錯(cuò)，只是一個(gè)連鎖反應(yīng)。
“小楊！”
我轉(zhuǎn)過(guò)身。
“問(wèn)題找到了！”
小楊**眼睛跑過(guò)來(lái)。
“在哪里？”
“不是光源系統(tǒng)。是工件臺(tái)的定位系統(tǒng)！”
我指著屏幕上那行數(shù)據(jù)。
“這個(gè)參數(shù)變了，然后整個(gè)系統(tǒng)的校準(zhǔn)全部亂了。光源報(bào)錯(cuò)是假象，真正的故障源頭在這里?！?br>“那怎么修？”
“重新校準(zhǔn)工件臺(tái)?！?br>我盯著屏幕。
“但這個(gè)校準(zhǔn)過(guò)程極其復(fù)雜，幾百個(gè)參數(shù)，每一個(gè)都要精確到納米級(jí)別?！?br>我沒(méi)有告訴小楊的是，那行日志還有一個(gè)細(xì)節(jié)讓我不太舒服。
參數(shù)變化發(fā)生的時(shí)間是凌晨?jī)牲c(diǎn)三十六分。
那個(gè)時(shí)間點(diǎn)，不應(yīng)該有任何人操作這臺(tái)機(jī)器。
06
接下來(lái)的八天，我?guī)缀踝≡诹藵崈羰依铩?br>校準(zhǔn)工件臺(tái)的定位系統(tǒng)，是一個(gè)讓人發(fā)瘋的過(guò)程。
用激光干涉儀測(cè)量工件臺(tái)的當(dāng)前位置。
根據(jù)測(cè)量結(jié)果，調(diào)整驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的參數(shù)。
每調(diào)一個(gè)參數(shù)，重新測(cè)量。
確認(rèn)誤差在允許范圍內(nèi)，才能進(jìn)行下一步。
幾百個(gè)參數(shù)。
每個(gè)參數(shù)測(cè)量幾十次。
反復(fù)確認(rèn)。
我的眼睛熬得全是血絲。
手指上磨出了三個(gè)水泡。
嗓子啞到說(shuō)不出完整的句子。
但我不能停。
機(jī)器每停一天，公司就損失一千五百萬(wàn)。
第九天晚上，趙建華又來(lái)了一趟。
“蘇晚，進(jìn)展怎么樣？”
他站在潔凈室門(mén)口，沒(méi)有走進(jìn)來(lái)。
“工件臺(tái)校準(zhǔn)已經(jīng)完成百分之七十了。順利的話(huà)，三天后可以第一次試機(jī)?！?br>“三天？能不能快點(diǎn)？”
“不能?！?br>我沒(méi)抬頭。
“每個(gè)參數(shù)都要測(cè)幾十次，跳過(guò)任何一步，校準(zhǔn)就白做?！?br>趙建華沒(méi)再說(shuō)話(huà)。
他走的時(shí)候，在門(mén)口站了一會(huì)兒。
我抬頭看了他一眼。
他正盯著主控終端的屏幕。
等我看過(guò)去的時(shí)候，他的視線立刻挪開(kāi)了。
“辛苦了。”
他丟下兩個(gè)字，轉(zhuǎn)身離開(kāi)。
07
第十三天，我完成了第一輪校準(zhǔn)。
按下啟動(dòng)按鈕。
我的手抖得太厲害，差點(diǎn)按歪。
機(jī)器嗡嗡作響。
各個(gè)系統(tǒng)開(kāi)始自檢。
我盯著控制屏幕。心臟跳得整個(gè)胸腔都在振動(dòng)。
十秒。
二十秒。
三十秒。
屏幕上的指示燈一個(gè)接一個(gè)，從紅色變成**，又從**變成綠色。
“蘇工！”
小楊握緊了拳頭。
“快了——”
紅色報(bào)警窗口彈了出來(lái)。
機(jī)器停了。
小楊臉上的興奮凝在那里。
“怎么……”
我快速查看報(bào)警信息。
新問(wèn)題。
浸沒(méi)投影系統(tǒng)的鏡片角度出現(xiàn)偏差。
工件臺(tái)重新校準(zhǔn)后，整個(gè)系統(tǒng)的光路發(fā)生了變化。
投影系統(tǒng)的二十一面鏡片也需要重新調(diào)整。
解決了一個(gè)問(wèn)題，另一個(gè)問(wèn)題冒出來(lái)了。
“繼續(xù)干?！?br>我擦了擦額頭的汗。
“調(diào)投影系統(tǒng)。”
08
又是三天